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EVG光刻機
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研發和小規模生產中的單晶圓光刻膠加工。$nEVG101光刻膠勻膠機在單室設計上可以滿足研發工作，與EVG的自動化系統*兼容。EVG101支持大300 mm的晶圓，可配置為旋涂或噴涂和顯影。
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更新時間：2025-09-04
型號：EVG101
廠商性質：代理商
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